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この記事は会員限定記事です最先端半導体の製造に欠かせない極端紫外線（EUV）露光装置が間もなく日本に上陸する。ラピダス（東京・千代田）が2024年内にも千歳工場（北海道千歳市）に導入し、これが国内第1号となる見通しだ。同装置を世界で唯一製造しているオランダASMLが供給する。
ラピダスを皮切りに、EUV露光装置は日本の半導体工場に相次ぎ導入される。米マイクロン・テクノロジーは25年に広島工場（広島県東広島市）に導入し、2...
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