iPhoneやApple WatchなどのApple製品が、ヘリウムにさらされると故障し、最悪の場合そのまま文鎮化することが、ある病院の事故から明らかになりました。 iPhones are Allergic to Helium | iFixit https://ifixit.org/blog/11986/iphones-are-allergic-to-helium/ アメリカ・シカゴにあるモリス病院でシステムを担当するエリック・ウッドリッジさんは、新しく導入することになったGE製のMRIの設置途中に、「携帯電話が動かなくなった」という報告を病院職員から受けました。ウッドリッジさんはすぐに「MRIが何らかの電磁パルスを出しているのではないか？」ということが思い浮かび、病院内の他の機器への影響を考えて青ざめたとのこと。 しかし、調査した結果、故障したのはiPhoneやApple Watchなど

かつては水晶の独壇場だった発振器市場において、MEMSの存在感が高まっている。温度補償機能を備えていない最もシンプルなタイプの発振器では、MEMSの出荷数が既に水晶を上回っている。そのMEMS発振器市場でシェア90％を獲得しているのがSiTimeだ。 メガチップス傘下のSiTime（サイタイム）は、MEMS発振器を手掛ける数少ないメーカーだ。 かつては、MEMS発振器の開発や研究を手掛けるメーカーは複数存在した。例えばSilicon Laboratories、Discera（ディセラ：Microchip Technologyが2013年に買収）、IDT、新興企業だったSand 9、そしてAvago Technologiesも内部で研究開発を行っていた。 SiTimeのマーケティング担当Executive Vice PresidentであるPiyush Sevalia氏は、「だが現在は、Si

2000年の時点で、MEMS市場は既に力強く成長しており、市場規模は数量ベースで年間10億個を若干上回り、金額ベースでは年間50億米ドルに達していた。2014年の段階ではMEMS市場は年間111億米ドルのビジネスにまで拡大した。Yole Developpement（以下、Yole）の予測では、2020年の時点でMEMS市場は年間200億米ドルにまで成長し、出荷数量は年間で300億個に達するであろう。

NECは，同社初となるシリコンフォトニクス製品を発売する。発売を予定しているのはDWDM用のmicro-TLS（波長可変レーザ），maicro-ICR（Intergrated Coherent Receiver）。送信側光源となるmicro-TLSは制御回路と組み合わせ， micro-ITLA（Integrable Tunable Laser Assembly）として発売する。帯域は1530nm〜1570nmで約2nm間隔で掃引する。出力は100mW。一方，ICRはデジタルコヒーレントのQPSK変調に対応しており，こちらは単体で発売される。同社ではmicro-ITLAを今年中，maicro-ICRを7月を目処に発売を開始したいとしている。 シリコンフォトニクスに期待される低消費電力化は「まだそれほどではない」（同社研究員）レベルだというが，小型化には成功しており，面積比でmicro-TLS

「QMEMS」と「半導体技術」で優位性を高める 3領域での売り上げ拡大、コンシューマ機器向けでのシェア維持に向けた戦略は、明確だ。「QMEMS」と呼ぶ長く培ってきた水晶の独自微細加工技術と、近年融合を進めてきた半導体技術の2つを技術をベースにして、シェアの獲得を狙うというものだ。 独自水晶微細加工技術のQMEMSは、半導体デバイス製造と同様にフォトリソグラフィ技術を利用する製造技術であり、1970年代から水晶デバイス製造に適用してきたもの。1枚の水晶ウエハーで製造できるデバイスの数が、一般的な機械加工の場合と比べ、「10倍多い」という特徴を備え、デバイスの小型化だけでなく、低コストという利点があり、価格競争の激しいコンシューマ機器市場でのシェア獲得につながってきた技術だ。 このQMEMSにより、機械加工では16～17μm厚が限界とされる水晶の薄化加工を2μmまで可能にした。ATカット水晶デ

米SiTime社は、2012年6月に米国で開催された学会で、高速通信機器のクロック源として使える仕様を備えたSi発振器について、詳細を発表した。温度補償回路を備えて、周波数変動を大幅に抑えている。今回の技術を使ったプロセスは、同社の高性能製品のプラットフォームとなる。

MEMS（微小電子機械システム）の製造装置を時間貸しで提供する施設「試作コインランドリ」の利用が拡大している。この施設は、東北大学が2010年4月に西澤潤一記念研究センター内に開設したもの。前工程から後工程まで60種類以上のMEMS製造装置を備え、それぞれを「格安の料金」（同大学）で広く利用可能にしている。

米Integrated Device Technology, Inc.（IDT）は、水晶発振器を置き換えられる性能を備え、価格は安いというMEMS発振器を製品化した。クロックの精度を規定する位相ジッターを最大1psに抑えており、Gigabit Ethernetなどの高速通信インタフェースに利用できる。価格は「1000個購入時に水晶発振器の半額、10万個購入時には3割安い」（同社）。6ピンの水晶発振器（XO）とピン互換であり、大きな設計変更なく水晶発振器を代替可能だ。

「電子ブックは実績あり、次はスマホを狙う」、MEMS発振器のSiTimeが表明：電子部品 タイミングデバイス シリコン材料を使うMEMSタイミングデバイスを手掛けるSiTime。既に電子ブックリーダーやデジタルカメラに採用実績があるという。同社が次に狙うのは、スマートフォンとはじめとしたモバイル通信端末だ。従来品は消費電力がネックになっていたが、それを改善した品種を7月に投入する予定である。 「実は、Amazonの『Kindle』やデジカメなどのモバイル型民生機器に既に採用されている。だが、スマートフォンではまだ実績が無い。次は、その市場を取りにいく」―― シリコン材料を使うMEMSタイミングデバイスを手掛けるSiTimeは、半導体関連企業の首脳陣が集う報道関係者向けイベント「Globalpress Electronics Summit 2012」（米国カリフォルニア州のサンタクルーズで2

はじめに 高精度、低雑音、低消費電力のCMOS発振器は、全シリコンの周波数源ソリューションによって、周波数制御デバイスを最もコストの低い構成に移行することを可能にする。CMOS発振器における技術的なチャレンジは、周波数ドリフトを最小化し、高い周波数安定性を達成することである。 CMOS発振器の周波数ドリフト CMOS　LC発振器((LCO)の共振周波数は、 である。ただし、Lは共振回路のインダクタンス、Cは共振回路の静電容量である。 実際の共振周波数は、コイルとコンデンサ双方の抵抗成分による損失があるため、 RL(T)は、温度要因による、負方向かつ下に凹の周波数ドリフトを引き起こす。 設計手法 抵抗成分RCを共振回路の静電容量Cに意図的に付加すれば、コイルの抵抗成分RLによる周波数ドリフトを打ち消すことができる。この視点は、コイルの温度による周波数ドリフトを補償するために損失のある静電容量

アドバンテストは3月19日、半導体検査装置、高速通信機器、高周波計測器・部品などに使用されるMEMSリレーを開発したことを発表した。 高周波リレーは現在、電磁駆動や静電駆動によるものが多く普及しているが、電磁駆動はサイズや消費電力が大きい、静電駆動は静電気などの環境に影響されやすく駆動電圧も高いという問題を抱えている。 同社のMEMSリレーは、圧電駆動方式を採用しこれらの問題を解決した。独自の成膜技術により、低駆動電圧に必要な薄さ1μmの圧電膜を実現し、チップ厚は0.9mmとなっている。また、同社が長年培ってきた高周波計測技術により、最大20GHzの高周波伝送に対応する他、12Vの駆動電圧を実現している。半導体試験装置で実績を重ねてきた接点制御技術により、動作の高信頼性も兼ね備えている。 これにより、電磁駆動方式より小型化や省電力で勝り、静電駆動方式より耐環境性や駆動電圧に優れているという

フランスはパリで1月30日から開催中の「第25回IEEE MEMS国際会議（The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）」では、最初にあったOptical MEMSセッションに続き、RF（無線周波） MEMS、ポスター、Power MEMSの各セッションが続いた。その中から1件、紹介しよう。