カタログ・アプリケーション

高感度化と新イメージング技術で、前処理不要・非破壊の簡単元素分析！

インラインX線モニタリングで膜厚を連続計測

HORIBAのコア技術の1つである蛍光X線技術を活かし、お客様のご要望にお応えした元素分析装置を開発しました。高感度ながら持ち運び可能なA4サイズで固体、液体、粉体の元素分析が非破壊で可能です。

HORIBA は油分中硫黄濃度測定装置の新基準となるSLFA-60 および SLFA-6000 シリーズを完成させました。 新しい SLFA シリーズでは、ハードウェア・ソフトウェアの両面から設計を一新し、日々発展する製油業界における課題解決ニーズにお応えします。

異なる顕微鏡観察装置間で同一箇所の分析が容易にできます。

電子機器は多種多様な微小部品から構成されており、小さな異物でも機器全体の不具合につながるため、品質の確保には微小部の精密な解析が欠かせません。本アプリケーションでは、微小部X線分析装置 XGT-9000による電子部品の不具合解析事例を紹介します。

ベンチトップ蛍光X線分析装置（MESA-50）を使用して、プロトン交換膜燃料電池（以下、PEMFC）のシート状触媒のPt 担持密度を高速、かつ非破壊で測定する分析方法を紹介します。 異なるPt 担持密度を持つ試料から検量線作成し、その検量線から求めた定量値と試料のラベル値と高い相関性を確認しました、さらにその試料を複数回測定した結果において、Pt定量値の高い再現性も確認できました。

微小部X線分析装置XGT-9000なら、前処理不要で断面だしの時間も短縮でき、非接触分析のため異物への影 響もなく、異物を保存したまま測定できます。目に見える異物の非破壊分析はもちろん、目視では確認が難しい異物についても、スクリーニングマッピングと独自の画像処理技術で容易に異物箇所が特定でき、異物の鮮明な光学像観察とX線による元素分析により成分特定が可能です。

リチウムイオン電池材料の活物質など、活性が高い試料は大気に触れると直ちに変質してしまいます。微小部 X 線分析装置 XGT-9000 にトランスファーベッセルを用いることで、大気曝露の影響を受けず、試料本来の元素分布 状態を確認できます。

湿式分析では手間や時間がかかりますが、蛍光 X 線分析装置 MESA-50 なら、短時間で簡易に測定でき、リサイクルの可否を判断する閾値となる数十 ppm の測定が可能です。

触媒反応評価装置に蛍光 X 線検出機構を組み込むことにより、インライン測定を行い、連続的に触媒反応後の重質油中の硫黄濃度の測定ができ、安全かつ効率的に重質油の触媒反応評価研究を行えるようになりました。

従来 ICP を用いて、前処理 に大変手間がかかっていましたが、蛍光X線分析装置 MESA-50 なら、前処理不要で小型かつ測定時間が短いため、現場での迅速な測定が可能です。

A4 サイズのコンパクト設計の蛍光 X 線分析装置 MESA-50 なら、限られた分析スペースで簡易に Si ウェハ面内の金属膜厚を分析できます。

蛍光X線分析装置MESA-50なら、希釈等の前処理不要で、めっき中の多元素を簡単に測定することができます。 また、主成分の濃度変化や、使用過程でめっき液に混入したニッケルやクロムといった共存元素も測定可能です。