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Photoluminescence
非破壊、非接触による、化合物半導体の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。
顕微フォトルミネッセンス測定装置
シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置
顕微分光システム
世界初!希土類添加半導体を使った赤色LED開発に成功~マイクロLEDディスプレイの実現に貢献