欠陥部分をX線透過像で確認後、その要因を元素分析で特定できます。
数十μm幅の配線の多層膜厚をサブμmオーダで非破壊分析が可能です。
微小部X線分析装置 （X線分析顕微鏡）
露光機内蔵検出器では発見しにくい異物もPR-PDシリーズなら検出が可能です。ウェハを対象とした場合、ベアウェハであれば最高感度0.1 μmで異物の測定可能です。
10μm標準ガラスビースは100%除去（固着異物5個残）しています。ウェハに付着した異物をAir（またはN2）ブローと真空吸引により自動除去します。200 ㎜サイズまでの対応実績があります。
