2010������11·���9�����䏢¡�¼��я�����¹��䏢�������������я�Ï�ԏ��������������ҏ�������������������돪�½��쏪���쏢���������Сޏ���·»���·����돫�²���������³��������؏���돪�����ޏ�������¾��ď��·Ð³��²���������11·���19�����䏢¡񏪤���¼���½��Џ�����¼��؏��ޏ����ď�¡��³�����¡���ӏ�¡����ѡ�·��돪�¾�����������¹���̏����ď��»���������������������«���«�����������������돢���쏢�«�����Џ����������������������������������������ď�¡��³������¾��������ҏ�����¼��⏢�������·����������¼��؏����¡돪؏����ҏ��½���·�����ď���������

�����쏢�«�����Џ����������������ď����������������ď���������������������¡񏪴���¹���\«\���\���\���\���\���\��½��\µ\���\���\��\��\����������돩�½»���¹�������򏩬���µ�����я��̏����������ď�¡�򏩬���µ�����я�����\µ\���\���\��\��\����������������������³��Ï����쏢�������¾���³��������̏���������µ���³«������·���\���\���\���\������¼����������������µ»½���·������������ԏ�¡��·���«���������������������­���������·������·²������������½Ð��ď�����������䏪���䏢ď������������������¡�

»��������������䏪���䏢ď��������������������������������������»�ߏ�����������������������������������¡�

�򏩬���µ�����я�������������������������������¡�ď�ԏ���������돢¡�\µ\���\���\��\��\��������������²��Џ��������¹������µ���²��Џ��̏���������¡񏩡�������·���\���\���\��\����������¹���������������X���µ�����я�����²���¼��ҏ���������������������������돢𡯏��������¼«�����Ï�����\���\���\���\���\������¼���µ���»�����������������ď��������­������¹���������½��Џ����������ď��³���������̏���������¡��½�������������­��������¡�¼������������������\������·Ð�ޏ��������������������������½��Џ��«���»�����������������������������ď�¡�

������³��Ï�����������\���\½\³\��ѡ򏪪��Ð��؏����������ޏ��ޏ��»»�����؏����ӏ������½���������������������ԏ���̏����ҏ��������������·������������������\���\���\���\����������򏪡�򏪿�򏪣��¡��½������������³���¼���������»���\���\���\������¼�����ҏ���»��돢�·�����������������������¹��Џ�����\µ\���\¹\��я���������򏪮��¡񏩡��䏪���䏢��������¼�����������¡򏪩�򏪪����������ޏ���������������ѡ򏪱����������������������»���²��я����폪����·�ߏ�������ѡ򏪣�򏪲�򏪪��¡�\���\���\���\·\���\���\���\������¼������������������\³\���\���\������¼\���\���\���\������¼����������¼���������������������������������²��������������������¡�

¼���������������¹���\«\���\���\���\���\���\��½������\µ\���\���\��\��\�����������������򏩬���µ�����я��̏�����������������µ���³«�����������������������¼\�����¼µ»½��Џ��̏�¡�¾���µ­�����¡򏪪��Ð��؏�������㏢����½���������\���\���\������¼�����폪���㏢�������������­����������돢���ҡ돢������������������������������������������¡�

µ»½��Џ����¡돫���������������¡�򏩬���µ�����я�����²���¼��ҏ�����\���\���\���\����������򏪡�򏪿�򏪣��¡񏪩���¼�������������򏪮��¡�\µ\���\½\��я��������������������������«������¾����돪����������폢�������������������������������ޏ�������¡�

�����¾���·��ď�¡�·��⏪����¡񏪣�����������������������������ѡ򏪱������³«���������¹�����������ď�������������������¡��½����������������������»���²��я����폢����\���\���\���\������«������¾­������������\���\³\���\���\���\���\���������²��я����폢�������Џ����򏪢��돪���㏢����\·\���\³\���\���\��\������¼������¾������­�����؏��ޏ����������ď�����������µ»½��Џ��̏�����²���·�������������������¡�

���½��돩Ώ�돪����������¼������\·\���\³\���\���\��\������¼¾���������²��я����폪���Џ����������򡭡��\���\���\������¼\���\�����¡�����������������������¾������­�����؏���¾���������\��\���\���\���\�돪���쏢����µ»½��Џ�������������������¡񏪩���µ������̏����������������ԏ���̏����������������������������������ԏ���̏�¡񏪲¾���³���������ԏ���̏�����������������¼�����돪�����²��я����폢�������¹������µ»½��Џ�����������²���·�������������������¡�

���³������¾���¹�����¡�¾������­�����؏��ޏ����Џ����򏪢��돪���㏢�̏�������������������������������¡��½���������Џ����������̏���������������������ޡ돫������������Џ����������쏢�ޏ�����²��я����폢����½��������Џ����㏢�̏�������������������������¡�\���\���\���\����������򏪡�򏪿�򏪣���̏�������������������������¡��·�����ď�����²��ġ򏪮Hz\���\���\���\�����������㏢���¡򏪪��Ð��؏����ҏ�����������½Ð���·���������������������̏�¡��½���������ď�����������������\���\���\���\������̏�����·�ߏ��·�����ġ򏪪��Ð��؏�����²��я����폢ď�������ҏ������������돪����������·�����Ģ�¹���������������¹�������������¹\���\���������»��²»���̏�����������������������������\������¼\�����¼����������Џ����������³���\���\���\��돢������������������������¡�\·\���\³\���\���\��\������¼������¾������­�����؏��ޏ��������³���������̏�����²���·�����������������������¡�

����������\���\½\³\��я����¡򏪪��Ð��؏�������������\���\½\³\��я����¡򏪪��Ð��؏�������������¡�½��������Џ����㏢�̏��������­�������돪叢�������������̏�¡��½������������²������½���������¹�����������ď�������������¡񏪪�ޡ돫�¼��Џ�������ď�ԏ����������돪����������·������\���\�������¾�����������������¡�»��²»������½Ð���µ������������\������¼\�����¼����������Џ��������������������½�����Ï�������¡�

�����ď��������·���³���������ӏ�����������������\������¼\�����¼����������Џ�������¡����������«������������������³��Ï��������������­���������������������³����������������ӡ돫����������̏�������������¡񏪩���»��Џ�¡�򏩬���µ�����я��«��������������¡�¾­��������¡񏢱���³��Ï��̏�����������¼«����̏�����²���¼��ҏ��̏����㏢����������²������½���­���̏�������������������������������𡯏����������������������������������������쏪���叢�������������·������\µ\���\���\��\��\��������»��������������ď�����������������¡�

\���\¹\���¾���������²��я�����\���\��ď��¼\��я�����\·\���\³\���\���\��\������¼¾��������������³��������쏢�������¾¼������¹������¾���¹�����¡񏢱�����»�������������¹���̏��»���������������������Ð�����������������叢������¡��½������²��ҏ����䏪���㏢��¾������̏�������¡��²��돪�����돪�¾�������돢������¡񏢱�����»���������·��������ď�������\���\���\�ߏ����¡򏫮�����Џ����򡭡�³��µ��¡򏫿��������»��������������������������������ď��̏�¡�ď�������\���\���\�ߏ����¡򏫱�����Џ�����³�����µ��¡򏫿���������������Џ����������������ď�¡�

��ď�������\���\���\�ߏ��«���������������³�������돪�¾������»���������������¹�����¢���������㏢���������������������������������������������������¡��ޡ�·����������돢�����������򏪳��ҡ򏩡\��\­\·\���\������¼\��������²�򡭡򏢱��¡򏫿���������������Џ����������������ď�¡�

���\��\­\·\���\������¼\�����¼

\��\­\·\���\������¼\�����¼����Excimer Laser���������������������\��\¹������\���\���\²\��я�����������������돢�¹���\��\¹�����ҏ����Џ�����������\������¼\�����¼����������ҏ��������������µ���»�����������؏����ӏ���������������¡򏢱µ���¹������¹�������������Џ��������·�����������̏����Џ��µ�����������������������ď��̏�¡�돪������������������\������¼\·\���\���������������������»�����������돪�µ¼���½��Џ����������쏢���������������������̏����Џ��µ��������������������������¡�

�����\��\¹������\��\���\��\��я�¡�\���\���\��\���\��я�¡�\­\»\���\��я��̏�¡�\���\���\²\��я�����\���\�����������¡�ޏ�ӏ��������̡돫�������������»��������Џ��µ��������������¡�돢�¹���\��\¹������������������\���\���\¹�����䏪����������������������������������������¹����������µ���¾��؏����ӡ����\��\¹�����»��ҏ�����\���\���\²\��я����»��ҏ�����������������������·���������µ������������\��\­\·\������«����������������¼��������������������������������\���\���\¹��������Ģ����¹��������¡�

���������½�����쏢����\��\­\·\���\������¼\�����¼������������Ģ����������¹�������돪�²¼���������������쏢��������������������¡�

ArF - 193 nm
KrF - 248 nm
XeCl - 308 nm
XeF - 353 nm


»²¹�����¡�Wikipedia

���µ��������������¡��·����돢�«�������򏪡��ҡ򏩡\��\­\·\���\������¼\�������������Џ����������������ď�¡��򏢱�����¡񏢱�����»������\��\­\·\���\������¼\�����«�������򏪩��ء�ӏ�����ޡ�³���\��µ��¡򏫿�����������돪�¹��ԏ��¹��������������������������������������������������¡�

�񡯡򏪩��ء�ӏ�������»������������������������
�񡯡򏪩��ء�ӏ�������»������µ���³«����������돢����


�򏩬���µ�����я�����²���¼��ҏ�����\������¼\�����¼�����������µ»½��Џ����ҏ�������������������¡�\���\³\��я�¡�\­\���\���\��я�¡�\«���¼\���\¹\���\���\���\¹�����¡�³¼��ҏ��������³�����¡��¹������������������\���\���\���\������¼\«���¼���̏�����������������������\���\���\��돢���ҏ��������¹���³������������\���\���\���\���\�������������»���²��я����폢����\·\���\³\���\���\��\������¼¾���������������¾������­�����؏��ޏ���²������½���������������������½�����Ï�������¡�

\���\³\��я�����\­\���\���\��я�����\���\���\��돢���������쏢���µ��������¾���������ҏ��½���������·���������������������̏�¡�\«���¼\���\���\��\���\¹������\���\���\��돢�������Ώ������½������������¹��ԏ�������¡����쏢���µ��������½��������������¡�\���\���\���\��������¡򏪡��ѡ򏪿���������������������²���¼��ҏ���¹��ԏ�������������������������¡�򏪡��ѡ򏪿���������������\���\��\���\���\��\¹������»���²���¼��ҏ����������������ď��̏�¡񏢱½��돩Ώ��������������폢�·��������������������¡�

���³������µ»½��Џ�������¡񏪢���³��Ï�����\���\³\��я�¡�\­\���\���\��я�¡�\«���¼\���\¹\���\���\���\¹�����¡�³¼��ҏ��·���«���������������½�����Ï�����»�ߏ��������������������³������������\���\���\���µ»½��Џ��̏��������«���µ���������������������������ޏ�������¡����ď�������𡯏��Ð\���\³\��я���������������¾������²���������я��¾����̏��«��������²���ġ�³���������³������µ»½��Џ�����������������������������������¡�\«\���\�����¡�\���\���\«\�����¡񏢱²�������������̏����я��¾����̏�������¡��½������������������²��ď�����������������¾������²������¼�����������������������������������������³����������������������¡�

\­\���\���\��я��������������������������¾������²���̏��������­�������������������½�����������叢�����������³�����������������������������������Ï��������̏��������ѡ��³���������¡�돪����������·������¼��򏩡��Џ�����\��㏢�¼\¹�����������������������������������������������돢������¡�

���������³��������������¡��»���������«������\��\���\���\«���¾³��𡭏�Ώ��«�����������쏢�«�����Џ��������������·�����������������ď����������������ď��³����������������������¡��½���������������������Ï����������������ď������«������»��������������ď�¡�

�����������������Ï�����������¡�¼��Џ������������������Ï�����\³\���\���\������¼\��ď����¡򏪪��Ð��؏������򏪪�����ҡ򏫩��³�����µ�����·��������������¡񏪪�ޏ���������\¹\��ԏ��¼\�������������̏�������������������������������¡񏪴��ď�ԏ����¡򏪪��Ð��؏�������������½�����������\���\���\���\�����¡�򏪡�򏪿�򏪣���������������������³���³��ď�ԏ�����¹��ԏ��������������������­�����ď�¡�����������SDHC\���\���\������¼��������ޡ��GB�����̏����㏢��������̏������������������������������������������������������������̏��¹��������¡�

X���µ�����я��������������¾��돪只���쏢�������򏢱�����¡����������Ï������������������«������»��������������ď�¡��¹��������������¡�X���µ�����я��«��������������¡�\������¼\�����¼����������Џ�����������»������\��\­\·\���\������¼\�����«�������򏪩��ء�ӏ�����ޡ�³���\��µ��¡򏫿���������������¡돪�¹��ԏ��̏����叢���䡭�돪����·��¡�����������¾­��������¡񏩡��䏪���䏢����T¼��ҏ����ҏ����������⏢������������¡񡭏��¹��Џ�����\µ\���\¹\��я�����LG������������������������¼����¹��������¡�µ»½��Џ��̏����Ѣ�����µ�����������������������Ï������³��������������¡�

�����ӏ��³��¡�½��������Џ����㏢����¾������²�����������ď�����������������CPU��¡�\���\���\������¼��������������������¡��������«��������������������µ��¡񏪣�������������������²��ԏ��������µ���»���������«���̏��������­������\���\���\���\�����������������������¡򏪩�������¾��������Џ����ҏ�����³��Ï����������������������폢�µ���»��¡񏪲������������²����µ��𡯏����������ď�������������¡�

�����������¾­��������¡�CPU����������������½���������²½��������������������������¡񏪪�ޏ���������������㏢�̏��µ��������������ď�ԏ����䏢����¾������¹������²������½���­���̏���������¡��ѡ򏪣�򏪲�򏪪\���\���\������¼����\������¼\���\���\��\¹\���������������������������»��Џ��������̏��¹���돢�½���³�������������������������������������������³�����������������������ď�¡�

»���¼����򏩬���µ�����я��̏�돩Ώ����ҏ��¹������\µ\���\���\��\��\������������³��Ï����쏢����������µ���³«������·���\���\���\���\������¼������������������¡�돪����¹»��Џ�����¼��ҡ����ď�ԏ���������µ���³«��������¡񡭏��²��������������¡�ޏ������������ҡ�������������������������������������������������������������������Ï���������

»��������ď�����������³���¼��²���¼��ҡ������­������¹���������µ���½���(ERI��������������¡񏢱���µ���½��������Ώ��폢�������ҏ�����������������½�������ߏ�����\���\���\·\���\��я�����������·��ď�����������\³\���\���\������¼\��ď�����\¹\���\³\��я��������·���«���������­���������³������������\���\½\³\��я�����¹��ԏ����Ï��³���������̏������������ď�¡��¹��������������³¼����µ�������·��»»���������������������½��������������ҏ��«���������������½¼��������������������������·�����ď�¡��½������¾���������¹��������㏢����³���½���\·\���\���\������¼\·\���\��я����ҏ����\������¼\���\���\���\��������������Џ����Џ�����·��»»\µ���¼\���\¹���¹���������������폢��������돪������·���������­�����ď�¡�

�򏩬���µ�����я��̏����������������������ď��³���������̢�������¹¼������½���¹���������������������������Ð��¡��µ������������¾���µ­������»��������ď�����������������̏��½¼���²½���¹���������³��������������������������¡����������ď��������������ҏ�ď�폢������¡�½��������ď�����\������¼\���\���\��\¹\���������»��Џ������������돫������쏢����������������»��Џ��̢����������������������������»�ߏ�𡯏���������

X���µ�����я��½���·������X���µ�����я�����²���¼��ҏ������򏢱�������������������������������䏪���ԏ��·�����ď���������