2010������11·���9�����䏢¡�¼��я�����¹��䏢�������������я�Ï�ԏ��������������ҏ�������������������돪�½��쏪���쏢���������Сޏ���·»���·����돫�²���������³��������؏���돪�����ޏ�������¾��ď��·Ð³��²���������11·���19�����䏢¡���¼���½��Џ�����¼��؏��ޏ����ď�¡��³�����¡���ӏ�¡����ѡ�·��돪�¾�����������¹���̏����ď��»���������������������«���«�����������������돢���쏢�«�����Џ����������������������������������������ď�¡��³������¾��������ҏ�����¼��⏢�������·����������¼��؏����¡돪؏����ҏ��½���·�����ď���������
�����쏢�«�����Џ����������������ď����������������ď���������������������¡���¹���\«\���\���\���\���\���\��½��\µ\���\���\��\��\����������돩�½»���¹����������µ�����я��̏����������ď�¡����µ�����я�����\µ\���\���\��\��\����������������������³��Ï����쏢�������¾���³��������̏���������µ���³«������·���\���\���\���\������¼����������������µ»½���·������������ԏ�¡��·���«������������������������������·������·²������������½Ð��ď�����������䏪���䏢ď������������������¡�
»��������������䏪���䏢ď��������������������������������������»�ߏ�����������������������������������¡�
����µ�����я�������������������������������¡�ď�ԏ���������돢¡�\µ\���\���\��\��\��������������²��Џ��������¹������µ���²��Џ��̏���������¡�������·���\���\���\��\����������¹���������������X���µ�����я�����²���¼��ҏ���������������������������돢𡯏��������¼«�����Ï�����\���\���\���\���\������¼���µ���»�����������������ď��������������¹���������½��Џ����������ď��³���������̏���������¡��½���������������������¡�¼������������������\������·Ð�ޏ��������������������������½��Џ��«���»�����������������������������ď�¡�
������³��Ï�����������\���\½\³\��ѡ��Ð��؏����������ޏ��ޏ��»»�����؏����ӏ������½���������������������ԏ���̏����ҏ��������������·������������������\���\���\���\��������������¡��½������������³���¼���������»���\���\���\������¼�����ҏ���»��돢�·�����������������������¹��Џ�����\µ\���\¹\��я�����������¡��䏪���䏢��������¼�����������¡�����������ޏ���������������ѡ����������������������»���²��я����폪����·�ߏ�������ѡ����¡�\���\���\���\·\���\���\���\������¼������������������\³\���\���\������¼\���\���\���\������¼����������¼���������������������������������²��������������������¡�
¼���������������¹���\«\���\���\���\���\���\��½������\µ\���\���\��\��\��������������������µ�����я��̏�����������������µ���³«�����������������������¼\�����¼µ»½��Џ��̏�¡�¾���µ�����¡��Ð��؏�������㏢����½���������\���\���\������¼�����폪���㏢�����������������������돢���ҡ돢������������������������������������������¡�
µ»½��Џ����¡돫���������������¡����µ�����я�����²���¼��ҏ�����\���\���\���\��������������¡���¼���������������¡�\µ\���\½\��я��������������������������«������¾����돪����������폢�������������������������������ޏ�������¡�
�����¾���·��ď�¡�·��⏪����¡�����������������������������ѡ������³«���������¹�����������ď�������������������¡��½����������������������»���²��я����폢����\���\���\���\������«������¾������������\���\³\���\���\���\���\���������²��я����폢�������Џ������돪���㏢����\·\���\³\���\���\��\������¼������¾�����������؏��ޏ����������ď�����������µ»½��Џ��̏�����²���·�������������������¡�
���½��돩Ώ�돪����������¼������\·\���\³\���\���\��\������¼¾���������²��я����폪���Џ������������\���\���\������¼\���\�����¡�����������������������¾�����������؏���¾���������\��\���\���\���\�돪���쏢����µ»½��Џ�������������������¡���µ������̏����������������ԏ���̏����������������������������������ԏ���̏�¡¾���³���������ԏ���̏�����������������¼�����돪�����²��я����폢�������¹������µ»½��Џ�����������²���·�������������������¡�
���³������¾���¹�����¡�¾�����������؏��ޏ����Џ������돪���㏢�̏�������������������������������¡��½���������Џ����������̏���������������������ޡ돫������������Џ����������쏢�ޏ�����²��я����폢����½��������Џ����㏢�̏�������������������������¡�\���\���\���\���������������̏�������������������������¡��·�����ď�����²��ġHz\���\���\���\�����������㏢���¡��Ð��؏����ҏ�����������½Ð���·���������������������̏�¡��½���������ď�����������������\���\���\���\������̏�����·�ߏ��·�����ġ��Ð��؏�����²��я����폢ď�������ҏ������������돪����������·�����Ģ�¹���������������¹�������������¹\���\���������»��²»���̏�����������������������������\������¼\�����¼����������Џ����������³���\���\���\��돢������������������������¡�\·\���\³\���\���\��\������¼������¾�����������؏��ޏ��������³���������̏�����²���·�����������������������¡�
����������\���\½\³\��я����¡��Ð��؏�������������\���\½\³\��я����¡��Ð��؏�������������¡�½��������Џ����㏢�̏���������������돪叢�������������̏�¡��½������������²������½���������¹�����������ď�������������¡�ޡ돫�¼��Џ�������ď�ԏ����������돪����������·������\���\�������¾�����������������¡�»��²»������½Ð���µ������������\������¼\�����¼����������Џ��������������������½�����Ï�������¡�
�����ď��������·���³���������ӏ�����������������\������¼\�����¼����������Џ�������¡����������«������������������³��Ï�����������������������������������³����������������ӡ돫����������̏�������������¡���»��Џ�¡����µ�����я��«��������������¡�¾��������¡���³��Ï��̏�����������¼«����̏�����²���¼��ҏ��̏����㏢����������²������½������̏�������������������������������𡯏����������������������������������������쏪���叢�������������·������\µ\���\���\��\��\��������»��������������ď�����������������¡�
\���\¹\���¾���������²��я�����\���\��ď��¼\��я�����\·\���\³\���\���\��\������¼¾��������������³��������쏢�������¾¼������¹������¾���¹�����¡�����»�������������¹���̏��»���������������������Ð�����������������叢������¡��½������²��ҏ����䏪���㏢��¾������̏�������¡��²��돪�����돪�¾�������돢������¡�����»���������·��������ď�������\���\���\�ߏ����¡�����Џ�����³��µ��¡��������»��������������������������������ď��̏�¡�ď�������\���\���\�ߏ����¡�����Џ�����³�����µ��¡���������������Џ����������������ď�¡�
��ď�������\���\���\�ߏ��«���������������³�������돪�¾������»���������������¹�����¢���������㏢���������������������������������������������������¡��ޡ�·����������돢�������������ҡ\��\\·\���\������¼\��������²���¡���������������Џ����������������ď�¡�
���\��\\·\���\������¼\�����¼ \��\\·\���\������¼\�����¼����Excimer Laser���������������������\��\¹������\���\���\²\��я�����������������돢�¹���\��\¹�����ҏ����Џ�����������\������¼\�����¼����������ҏ��������������µ���»�����������؏����ӏ���������������¡µ���¹������¹�������������Џ��������·�����������̏����Џ��µ�����������������������ď��̏�¡�돪������������������\������¼\·\���\���������������������»�����������돪�µ¼���½��Џ����������쏢���������������������̏����Џ��µ��������������������������¡� �����\��\¹������\��\���\��\��я�¡�\���\���\��\���\��я�¡�\\»\���\��я��̏�¡�\���\���\²\��я�����\���\�����������¡�ޏ�ӏ��������̡돫�������������»��������Џ��µ��������������¡�돢�¹���\��\¹������������������\���\���\¹�����䏪����������������������������������������¹����������µ���¾��؏����ӡ����\��\¹�����»��ҏ�����\���\���\²\��я����»��ҏ�����������������������·���������µ������������\��\\·\������«����������������¼��������������������������������\���\���\¹��������Ģ����¹��������¡� ���������½�����쏢����\��\\·\���\������¼\�����¼������������Ģ����������¹�������돪�²¼���������������쏢��������������������¡� ArF - 193 nm KrF - 248 nm XeCl - 308 nm XeF - 353 nm »²¹�����¡�Wikipedia |
���µ��������������¡��·����돢�«���������ҡ\��\\·\���\������¼\�������������Џ����������������ď�¡�������¡�����»������\��\\·\���\������¼\�����«���������ء�ӏ�����ޡ�³���\��µ��¡�����������돪�¹��ԏ��¹��������������������������������������������������¡�
���ء�ӏ�������»������������������������
���ء�ӏ�������»������µ���³«����������돢����
����µ�����я�����²���¼��ҏ�����\������¼\�����¼�����������µ»½��Џ����ҏ�������������������¡�\���\³\��я�¡�\\���\���\��я�¡�\«���¼\���\¹\���\���\���\¹�����¡�³¼��ҏ��������³�����¡��¹������������������\���\���\���\������¼\«���¼���̏�����������������������\���\���\��돢���ҏ��������¹���³������������\���\���\���\���\�������������»���²��я����폢����\·\���\³\���\���\��\������¼¾���������������¾�����������؏��ޏ���²������½���������������������½�����Ï�������¡�
\���\³\��я�����\\���\���\��я�����\���\���\��돢���������쏢���µ��������¾���������ҏ��½���������·���������������������̏�¡�\«���¼\���\���\��\���\¹������\���\���\��돢�������Ώ������½������������¹��ԏ�������¡����쏢���µ��������½��������������¡�\���\���\���\��������¡��ѡ���������������������²���¼��ҏ���¹��ԏ�������������������������¡���ѡ���������������\���\��\���\���\��\¹������»���²���¼��ҏ����������������ď��̏�¡½��돩Ώ��������������폢�·��������������������¡�
���³������µ»½��Џ�������¡���³��Ï�����\���\³\��я�¡�\\���\���\��я�¡�\«���¼\���\¹\���\���\���\¹�����¡�³¼��ҏ��·���«���������������½�����Ï�����»�ߏ��������������������³������������\���\���\���µ»½��Џ��̏��������«���µ���������������������������ޏ�������¡����ď�������𡯏��Ð\���\³\��я���������������¾������²���������я��¾����̏��«��������²���ġ�³���������³������µ»½��Џ�����������������������������������¡�\«\���\�����¡�\���\���\«\�����¡²�������������̏����я��¾����̏�������¡��½������������������²��ď�����������������¾������²������¼�����������������������������������������³����������������������¡�
\\���\���\��я��������������������������¾������²���̏���������������������������½�����������叢�����������³�����������������������������������Ï��������̏��������ѡ��³���������¡�돪����������·������¼����Џ�����\��㏢�¼\¹�����������������������������������������������돢������¡�
���������³��������������¡��»���������«������\��\���\���\«���¾³��𡭏�Ώ��«�����������쏢�«�����Џ��������������·�����������������ď����������������ď��³����������������������¡��½���������������������Ï����������������ď������«������»��������������ď�¡�
�����������������Ï�����������¡�¼��Џ������������������Ï�����\³\���\���\������¼\��ď����¡��Ð��؏�����������ҡ��³�����µ�����·��������������¡�ޏ���������\¹\��ԏ��¼\�������������̏�������������������������������¡��ď�ԏ����¡��Ð��؏�������������½�����������\���\���\���\�����¡������������������������³���³��ď�ԏ�����¹��ԏ�������������������������ď�¡�����������SDHC\���\���\������¼��������ޡ��GB�����̏����㏢��������̏������������������������������������������������������������̏��¹��������¡�
X���µ�����я��������������¾��돪只���쏢������������¡����������Ï������������������«������»��������������ď�¡��¹��������������¡�X���µ�����я��«��������������¡�\������¼\�����¼����������Џ�����������»������\��\\·\���\������¼\�����«���������ء�ӏ�����ޡ�³���\��µ��¡���������������¡돪�¹��ԏ��̏����叢���䡭�돪����·��¡�����������¾��������¡��䏪���䏢����T¼��ҏ����ҏ����������⏢������������¡��¹��Џ�����\µ\���\¹\��я�����LG������������������������¼����¹��������¡�µ»½��Џ��̏����Ѣ�����µ�����������������������Ï������³��������������¡�
�����ӏ��³��¡�½��������Џ����㏢����¾������²�����������ď�����������������CPU��¡�\���\���\������¼��������������������¡��������«��������������������µ��¡�������������������²��ԏ��������µ���»���������«���̏��������������\���\���\���\�����������������������¡�������¾��������Џ����ҏ�����³��Ï����������������������폢�µ���»��¡������������²����µ��𡯏����������ď�������������¡�
�����������¾��������¡�CPU����������������½���������²½��������������������������¡�ޏ���������������㏢�̏��µ��������������ď�ԏ����䏢����¾������¹������²������½������̏���������¡��ѡ��\���\���\������¼����\������¼\���\���\��\¹\���������������������������»��Џ��������̏��¹���돢�½���³�������������������������������������������³�����������������������ď�¡�
»���¼�������µ�����я��̏�돩Ώ����ҏ��¹������\µ\���\���\��\��\������������³��Ï����쏢����������µ���³«������·���\���\���\���\������¼������������������¡�돪����¹»��Џ�����¼��ҡ����ď�ԏ���������µ���³«��������¡��²��������������¡�ޏ������������ҡ�������������������������������������������������������������������Ï���������
»��������ď�����������³���¼��²���¼��ҡ������������¹���������µ���½���(ERI��������������¡���µ���½��������Ώ��폢�������ҏ�����������������½�������ߏ�����\���\���\·\���\��я�����������·��ď�����������\³\���\���\������¼\��ď�����\¹\���\³\��я��������·���«������������������³������������\���\½\³\��я�����¹��ԏ����Ï��³���������̏������������ď�¡��¹��������������³¼����µ�������·��»»���������������������½��������������ҏ��«���������������½¼��������������������������·�����ď�¡��½������¾���������¹��������㏢����³���½���\·\���\���\������¼\·\���\��я����ҏ����\������¼\���\���\���\��������������Џ����Џ�����·��»»\µ���¼\���\¹���¹���������������폢��������돪������·��������������ď�¡�
����µ�����я��̏����������������������ď��³���������̢�������¹¼������½���¹���������������������������Ð��¡��µ������������¾���µ������»��������ď�����������������̏��½¼���²½���¹���������³��������������������������¡����������ď��������������ҏ�ď�폢������¡�½��������ď�����\������¼\���\���\��\¹\���������»��Џ������������돫������쏢����������������»��Џ��̢����������������������������»�ߏ�𡯏���������
X���µ�����я��½���·������X���µ�����я�����²���¼��ҏ�������������������������������������䏪���ԏ��·�����ď���������