【記事ランキング2006】もう加速度センサだけじゃない，幅広い応用の時代へ---MEMS International

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【記事ランキング2006】もう加速度センサだけじゃない，幅広い応用の時代へ---MEMS International

Si基板などの上に電子回路だけでなく微細な機械的な構造も作り込む---こうしたMEMS（micro electro mech... Si基板などの上に電子回路だけでなく微細な機械的な構造も作り込む---こうしたMEMS（micro electro mechanical system）と呼ばれるデバイスが今，急速に発展しつつある。MEMS関連の情報を統一的に伝えていくテーマサイト「MEMS International」で，2006年に注目された記事を見ていく。 ▼ 2006年「MEMS International」記事ランキング

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shrk2006/12/28

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