建屋
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/05/13 06:35 UTC 版)
クリーンルームでは内部での塵埃の堆積防止、清掃の容易性、フィルタ交換の維持管理の容易性など、建屋の構造にも考慮が必要である。 給排気システムが一方向の垂直流式では、作業室床がダウンフローの気流を透過するグレーチング構造にして、作業室下の階下に塵埃を落下させる構造が採用されることがある。 天井の給排気装置のメンテナンス用に、天井裏は十分な高さが用意されることが多い。 また、特に清浄を要求される小さな領域をビニールカーテンなどで覆って清浄度を上げる工夫も行われる。 外部との入退室には、2つの扉の間に清浄空気によるエアシャワー設備を置いた二重扉の出入口を設ける。 更衣や材料の準備などを行うために前室が設けられることがある。火災などの発生時には非常口が設けられている場合もある。
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