分光エリプソメトリー

■LED構造の特性評価
LED（発光ダイオード）はコンパクトかつ省エネ、長寿命であることから、固体照明やバックライトとして一般的にも普及しています。中でも、紫外LEDは樹脂硬化、滅菌、光触媒空気浄化、園芸用照明、食品保存など活用領域の拡大により、近年成長が期待されている光源です。LEDの性能は、光学定数、光学バンドギャップ、組成、表面ラフネス層、界面層などで決まり、LEDの開発や品質管理にはこれらのパラメーターの評価・管理が重要になります。

そこで、分光エリプソメーター　UVISEL PLUSを用いて、LED積層構造における各層の光学定数（屈折率、消衰係数）、光学バンドギャップ、膜厚を測定し、AlGaN層における膜厚の面内３Dマッピングを取得しました。