洗浄工程

洗浄工程

■洗浄工程 次に仕入れたウェーハをきれいに洗って、汚れを取り除く。ただし汚れといってもごくわずかな...概要を表示 ■洗浄工程 次に仕入れたウェーハをきれいに洗って、汚れを取り除く。ただし汚れといってもごくわずかなもので、目には見えない。（目で見てわかるような汚れがあるウェーハは商品にならない！）取り除く汚れの種類は以下のとおり。 ●単なるゴミ ウェーハを梱包から取り出したり運んだりするとき工場の外気などから付着したゴミ。サイズは最大で数μ m、最小では0.1 μ m 以下。なお、この小さなごみのことを半導体業界では一般に「パーティクル」と呼んでいる。 ●金属汚染 蒸発した汗に含まれるナトリウム分子や、工場内で使っている薬液に含まれる微量な重金属原子など。 ●有機汚染 人のフケや垢に含まれる炭素や工場内で使う薬液に含まれる微量の炭素分子など。また、純水配管の中にバクテリアがあれば、それも有機汚染のひとつになる。 ●油脂 人の汗に含まれる油分など。 ●自然酸化膜 ウェーハが大気に触れると、その表面が大気中