真空排気系とは？わかりやすく解説

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Weblio 辞書 > 同じ種類の言葉 > 言葉 > 状態 > 真空 > 真空排気系の意味・解説

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真空排気系　evacuation system

鏡筒、試料室などを真空排気するための真空ポンプシステム。低真空用ポンプ、高真空用ポンプ、真空計、制御回路などで構成され、起動後、粗引き、本引きまで自動的に動作する。また、真空弁の誤作動などに対応したインターロック機構が設けられている。なお、FESEMでは、電子銃室用として独立したスパッタイオンポンプが用いられており、連続運転されている。

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真空排気系

【英】：(vacuum) evacuation system

透過電子顕微鏡のは、電子銃室、鏡筒、試料室、カメラ室の被排気系と各種ポンプや弁、排気管で構成されている。標準的構成では、電子銃室、鏡筒は油回転ポンプ—油拡散ポンプ—イオンポンプの系、カメラ室は油回転ポンプ—油拡散ポンプの系が採用されている。電子銃が電界放出型の場合、電子銃室は独立なイオンポンプが配置され高真空が得られるようになっている。

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