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走査電子顕微鏡基本用語集

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FESEM　field emission SEM

電界放出電子銃を搭載した SEMの略称。すなわち、汎用形FESEM、分析FESEM、超高分解能FESEMなどの総称。

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走査型電子顕微鏡

(FESEM から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/02/26 21:40 UTC 版)

走査型電子顕微鏡（そうさがたでんしけんびきょう、英語: scanning electron microscope、SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM（走査型透過電子顕微鏡）と呼ばれる。

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