真空排気系の英語

真空排気系及び切替式トラップ装置例文帳に追加

EVACUATION SYSTEM AND SWITCHING TYPE TRAP DEVICE - 特許庁

真空排気系用バルブの使用方法例文帳に追加

METHOD OF USING VALVE FOR VACUUM EVACUATION SYSTEM - 特許庁

ラビリンスと真空ポケット６１〜６３を具備する差動排気機構のための排気装置は、真空ポケット６１〜６３の排気を行う差動排気系とチャンバー１０の排気を行なう排気系を有する。例文帳に追加

An exhaust device for a differential exhaust mechanism equipped with a labyrinth and vacuum pockets 61 to 63 has a differential exhaust system for exhausting the vacuum pockets 61 to 63 and an exhaust system for exhausting the chamber 10. - 特許庁

真空排気系を利用したシリンダを用いたイオンビーム電流測定機構例文帳に追加

ION BEAM AMPEROMETRY MECHANISM USING CYLINDER USING VACUUM PUMPING SYSTEM - 特許庁

単結晶引上げ機の不活性ガス排気系の水封式真空ポンプ例文帳に追加

WATER-SEALED TYPE VACUUM PUMP OF INERT GAS EXHAUST SYSTEM FOR MONOCRYSTAL PULLING MACHINE - 特許庁

脱離したＣＦｘ系の脱離ガスは真空ポンプにより排気される。例文帳に追加

The desorbed CFx-based desorption gas is exhausted by a vacuum pump. - 特許庁

高真空排気系３と超高真空排気系４及び５により、雰囲気チャンバ１１ａと真空チャンバ１２ａ及び試験気体導入系２内を超高真空状態にする。例文帳に追加

The atmospheric chamber 11a, the vacuum chamber 12a and the inside of a test gas introduction system 2 are put into the ultrahigh vacuum state by a high vacuum evacuation system 3 and ultrahigh vacuum evacuation systems 4, 5. - 特許庁

基板１１に膜を形成する際は、バルブ４５を閉止させることで、真空排気系５は真空容器１内を真空にすることができる。例文帳に追加

When a film is formed on a substrate 11, the valve 45 is closed, thus the vacuum exhaust system 5 can evacuate the inside of the vacuum vessel 1. - 特許庁