帯電現象とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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帯電現象（チャージアップ）　charging phenomenon,charging

非導電性試料を観察したときに起きる現象。帯電の影響によって試料に入射する電子プローブが偏向されて像が歪んだり、試料から放出されて検出器に入射する二次電子の軌道が変わることで、不安定な異常コントラストが起きることがある。

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