ペニング真空計とは？ わかりやすく解説

真空中での放電現象を利用し、中～高真空領域での圧力を測定する真空計。最初に開発したメーカーの名前をとり、フィリップス(Philips)真空計と呼ぶこともある。ぺニング真空計は、ぺニング放電という現象を利用している。一般に冷陰極から放出される電子は熱陰極に比べて少なく、単に陽極－陰極間に電圧を印加するだけでは、0.1～1Pa程度までしか放電を持続することができないが、ペニング放電では外部から磁場を印加し、電子の飛距離を長くすることによって低い圧力0.1MPaでも放電を持続させることができる。それほどの精度は必要としないが、測定子を頻繁に交換したくないような高真空領域の測定に適しており、熱処理用の真空炉や真空蒸着装置などに使われる。