B-A真空計とは？わかりやすく解説

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Weblio 辞書 > 工学 > 透過電子顕微鏡用語 > B-A真空計の意味・解説

透過電子顕微鏡基本用語集

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B-A真空計

【英】：B-A (vacuum) gauge

熱陰極電離真空計の一種。加熱したフィラメントから放出される電子を加速し残留気体に当ててイオン化し、イオン電流を測ることから中〜高真空での圧力を測定する真空計。測定範囲は0.1〜10⁻⁵Pa。ペニング真空計より低真空を計れる。ガラス管でできているので破損しやすいこととガス放出の問題があるので、測定子を直接真空にさらす方式の方がよく採用される。これをヌードゲージという（〜10⁻⁹Pa）。出力電流は圧力に比例する。電顕では超高真空試料室の圧力測定などに使われている。

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