洗浄工程(02/19)å•é¡Œæèµ· (12/14)MOSトランジスタ電æµã®å¼æœ€çµ‚版 (12/01)MOSトランジスタ電æµã®å¼3 (11/22)ã‚¢ã‚¯ã‚»ã‚¹è§£æž (11/21)MOSトランジスタã®é›»æµã®å¼2 (11/19)MOSトランジスタã®é›»æµã®å¼1 (10/01)ã‚ャパシタã®CVカーブ (09/14)閾値電圧 (08/30)ç›´åˆ—å®¹é‡ (08/24)今ã—ã°ã‚‰ããŠå¾…ã¡ã‚’ 最近ã§ã¯å®šä¾‹ã®ã‚ˆã†ã«ãªã£ã¦ã—ã¾ã£ãŸé€±æœ«ã®ä¼‘講を経ã¦ã€å†ã³å†é–‹ã€‚今回ã¯å‰å›žã®äºˆå‘Šé€šã‚Šæ´—浄ã®ãŠè©±ã€‚洗浄工程もåŠå°Žä½“プãƒã‚»ã‚¹ã®ä¸ã§ã¯é‡è¦ãªåˆ†é‡Žã§ã€ã„ã¾ã‚„一大分野を築ã„ã¦ã„る。ã ã‹ã‚‰ã€ã¡ã‚ƒã‚“ã¨ã—ãŸãŠå‹‰å¼·ã¯å°‚門書ã§è¡Œã£ã¦ãã ã•ã„。ã¾ãƒ¼ã¨ã«ã‹ãæ´å²ãŒå¤ãã€ã„ã‚ã„ã‚ãªå¤‰é·ãŒã‚ã‚Šã€è¤‡é›‘ã§ã‚る。 ã•ã¦ã€æ´—浄ã¨ã¯ãã‚‚ãも何ã®ãŸã‚ã«è¡Œã†ã®ã§ã‚ã‚ã†ï¼Ÿå…ˆæ—¥ã€ã“ã®è¬›åº§ã§ã‚‚ã•ã‚‰ã‚Šã¨è¿°ã¹ãŸãŒã€ç›®çš„ã¨ã¯å¤§ãã分ã‘ã¦2ã¤ã‚る。 1:パーティクル（ゴミ）を減らã™ã€‚ 2:金属汚染
{{#tags}}- {{label}}
{{/tags}}