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圧力の差はたったの1気圧、されど1気圧 真空チャンバーの内外の差は、超高真空であってもたったの1気圧... 圧力の差はたったの1気圧、されど1気圧 真空チャンバーの内外の差は、超高真空であってもたったの1気圧しかありません。 しかし、1気圧だといってバカにはできません。1気圧の差では、1cm2に約1kgの重しを乗せたのと同じだけの力が掛かります。直径40cmのフランジなら、その力は1トンにもなります。薄い板では曲がってしまいます。 円筒や球体の場合は構造的に力が分散しますので、ステンレスの場合3~4mmの厚さでも変形することはありません。しかし、角チャンバーの場合は平板に何トンもの重しを乗せたのと同じことになりますので、板を厚くするとともに、リブを入れないと変形します。そのため、角型チャンバーは円筒形や球体と比較して重くなり、値段も高くなります。 真空漏れ検査(リークチェック) ヘリウムリークデテクターがある場合は、これを使うのが便利です。この装置は、真空排気装置とヘリウムのみを計測する質量分析