いつまでも「職人芸」では海外メーカーに勝てない日本の半導体製造装置はなぜスループット、稼働率が劣るのか | JBpress (ジェイビープレス)

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いつまでも「職人芸」では海外メーカーに勝てない日本の半導体製造装置はなぜスループット、稼働率が劣るのか | JBpress (ジェイビープレス)

露光装置とは、写真の技術を応用して、シリコンウエハ上に塗布した感光性樹脂（レジスト）に光を照射す... 露光装置とは、写真の技術を応用して、シリコンウエハ上に塗布した感光性樹脂（レジスト）に光を照射することにより回路パタンを形成する装置である。解像度の進展とともに、装置価格が高騰しており、「ArF液浸」と呼ばれる最先端露光装置は1台50億円、次世代のEUV（Extreme Ultra Violet）露光装置は100億円を超えると言われている。露光装置は、人類が生み出した最も精密で高価なマシンであると言える。東芝の微細加工の責任者である東木達彦部長は、「まさに兵器だ」とすら述べた。半導体の量産工場には、「兵器」のごとき露光装置が数十台並ぶ。この兵器をどのように使うかが、半導体デバイスの性能、品質のみならず、コストにも大きく影響する。 ASMLの装置はスループットと稼働率が高い？ ASMLはどのようにしてTSMCやサムスン電子と共進化できる露光装置を開発したのか？装置メーカーに所属している筆

sirocco 2010/09/24の記事。1台50億円、次世代のEUV100億円を超えると言われている半導体回路パタンを形成するための露光装置。世界ではオランダのASMLがトップなのに日本では売れず、ニコンやキヤノンを使っているそうだ。