UVWステージのしくみ（位置決め用高精度XYθステージ）　画像処理ソリューション

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UVWステージのしくみ（位置決め用高精度XYθステージ）　画像処理ソリューション

メインページ＞画像処理画像処理の分野では画像を撮影して検査をするばかりでなく、半導体やFPDの業... メインページ＞画像処理画像処理の分野では画像を撮影して検査をするばかりでなく、半導体やFPDの業界では位置決め（アライメント）用途にも応用されています。今回は位置決め用途で用いられているUVWステージという、高精度のステージを紹介したいと思います。通常のXYθステージとUVWステージの基本構造は以下のようになっています。（若干異なる場合もあります。）【通常のXYθステージ】【UVWステージ】 UVWの各軸は、下図のように可動します。 UVWステージでXYθの位置決めが出来る原理は、上図のようにU軸を動かすとステージはX方向へ移動し、V軸とW軸を同時に動かすとY方向へ移動します。さらにU軸、V軸、W軸を同時に動かすとステージは回転します。 UVWステージの特徴はステージの高さを低く抑えられるモーターが移動しないので、配線が用意（断線する可能性が低い）高精度など。なぜ？U

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