回転傾斜機構とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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回転傾斜機構　rotation-tilt mechanism

真空蒸着装置あるいはイオンスパッタ装置に組み込んで使う、試料の回転・傾斜機構。高真空でコーティングする場合や、入り組んだ構造を持った試料にコーティングする場合、なるべく均一な厚さで連続した膜を作るために使われる。比較的回り込みが良いスパッタコーティングの場合でも、薄くて均一なコーティングをするには、回転傾斜機構を使うのが望ましい。

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