WAFとは 意味・読み方・使い方

A heater 13 for conducting heat to the back face side of the wafer Waf is embedded in the support base 11.例文帳に追加

支持台１１内にはウェハＷａｆの裏面側へ熱伝導させるヒーター１３が埋め込まれている。 - 特許庁

The boat BT1 has quartz-made boat members Q11-Q14 and substantially supports the wafers Waf.例文帳に追加

上記ボートＢＴ１は、石英製ボート部材Ｑ１１〜Ｑ１４を有し、実質的に半導体ウェハＷａｆを支持する。 - 特許庁

A processing chamber 10 holds wafers Waf inside and is connected to a discharge gas feed system 11 and an exhaust system 12.例文帳に追加

処理チャンバ１０は、内部にウェハＷａｆを収容し、少なくとも放電ガスの供給系１１及び排気系１２が繋がる。 - 特許庁

The method, in details, comprises quantitatively measuring the expression of at least one gene involved in the regulation of the β-catenin signalling pathway, such as μ-protocadherin, E-cadherin, β-catenin, Axin1, ICAT, p21^waf-1 and the expression of cancer-suppressor genes, such as KLF4 and CEBPα.例文帳に追加

より詳細には、本方法は、μ−プロトカドヘリン、E-カドヘリン、β−カテニン、Ａｘｉｎ１、ＩＣＡＴ、ｐ２１^waf-1のようなβ−カテニンシグナル経路の調節に関与する少なくとも一つの遺伝子の発現の定量、及びＫＬＦ４及びＣＥＢＰαのような癌抑制遺伝子の発現の定量を含む。 - 特許庁

With a TTL method that uses the projection optical system 14, a mark MK for alignment that is directly provided on the semiconductor substrate Waf is detected.例文帳に追加

かつ、投影光学系１４を介するＴＴＬ方式で、直接半導体基板Ｗａｆ上に設けられた位置合わせ用のマークＭＫを検出する。 - 特許庁

Normally, plasma is generated from a fed reaction gas which keeps a glow discharge region, and etching to a semiconductor wafer Waf is carried out.例文帳に追加

通常、グロー放電領域を保ちつつ供給される反応ガスによるプラズマが発生され、半導体ウェハＷａｆへのエッチング処理がなされる。 - 特許庁

Each of the members Q11-Q14 has an arrangement of wafer housing grooves G into which the wafers Waf are guided and is changed in cross-sectional area from one end to the other end.例文帳に追加

Ｑ１１〜Ｑ１４それぞれは、半導体ウェハＷａｆを導き入れるウェハ収容溝Ｇの配列を伴い、一端から他端に亘って断面積を異ならせてある。 - 特許庁

Consequently, the grooves G of the boat members Q11 and Q12 are made to function only for guiding and their bottom parts are not brought into contact with an end surface of the wafer Waf.例文帳に追加

このような構成によって、ボート部材Ｑ１１，Ｑ１２の溝Ｇは、ガイド用としてのみ機能させ、その底部をウェハＷａｆ端面に接触させない構成とする。 - 特許庁