【セミコン続報】「5m×5m基板でも対応できます」，非接触・浮上式のガラス基板搬送機器を展示《動画追加》

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【セミコン続報】「5m×5m基板でも対応できます」，非接触・浮上式のガラス基板搬送機器を展示《動画追加》

圧縮空気を供給してガラス基板を浮上させ，非接触で運ぶことができる搬送機器を，「セミコン・ジャパン2... 圧縮空気を供給してガラス基板を浮上させ，非接触で運ぶことができる搬送機器を，「セミコン・ジャパン2008」で妙徳が出展した。液晶パネルやPDP，太陽電池などに使用するガラス基板を，傷を付けないように搬送できるとする。既に，第8世代（2200mm×2500mmなど）や第7.5世代（1950mm×2250mm）の基板寸法に対応する露光装置やタイトラでの採用実績があるという。

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futoshi04172008/12/09

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