LIGA
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/04/17 04:07 UTC 版)
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LIGAとは、高アスペクト比（100:1オーダー）の微細構造を製作する微細加工である。 LIGAという呼称は、フォトリソグラフィ(Lithographie)、電解めっき (Galvanoformung)、形成(Abformung)という各工程のドイツ語の頭文字に由来している。
1980年代初頭にカールスルーエ核開発研究所(Institut für Kernverfahrenstechnik IKVT)[1][2]のErwin Willy BeckerとWolfgang Ehrfeldのチームによってウラン濃縮のための圧力勾配で噴出するガスの遠心力を用いる流体素子の一種である同位体分離ノズルを製造するために開発された[3][4][5][6]。
LIGAの主な特徴（X-線 LIGA）
- 100:1オーダーの高アスペクト比
- 側面壁の角度は89.95°
- 側面壁の表面粗さはRa=10nm程度（光学ミラーとして使用できるレベル）
- 構造部の高さは数十umから数mm程度
- 平面方向に数センチにわたってミクロンスケールの微細構造体を実現できる
LIGAは高アスペクト比の微細構造物を作成する要求に応える最初の主要な技術の一つである。MEMS素子の製造において重要な役割を担う。高輝度のX線を要するのでシンクロトロン放射光を使用する。
今日では3種類の異なるLIGA技術がある。
- X-線 LIGA
- UV-LIGA
- シリコン-LIGA シリコンの加工にDRIEを使用する。
- サンディア国立研究所の研究者達が1990年代から2000年代初頭にかけて開発した。
脚注
- ^ 現在の名称: Forschungszentrum Karlsruhe (Karlsruhe Research Center)
- ^ 現在の名称/後継機関: Institute for Microstructure Technology (Institut für Mikrostrukturtechnik) IMT
- ^ LIGA プロセス―マイクロデバイスへの応用と今後の展望―
- ^ Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Münchmeyer, D.; Betz, H.; Heuberger, A.; Pongratz, S.; Glashauser, W.; Michel, H. J. et al. (1982). “Production of Separation-Nozzle Systems for Uranium Enrichment by a Combination of X-Ray Lithography and Galvanoplastics”. Naturwissenschaften 69 (11): 520–523. doi:10.1007/BF00463495.
- ^ E. W. Becker; W. Ehrfeld; P. Hagmann; A. Maner; D. Munchmeyer (1986年5月). “Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process)”. Microelectronic Engineering 4 (1): 35-56. doi:10.1016/0167-9317(86)90004-3.
- ^ P. Hagmann; W. Ehrfeld (1989年). “Fabrication of Microstructures of Extreme Structural Heights by Reaction Injection Molding”. International Polymer Processing (Hanser Publishers) 4 (3): 188-195. doi:10.3139/217.890188.
外部リンク
- LIGA - サンディア国立研究所
- LiMiNT - LIGA プロセス - シンガポール放射光源
- The International LIGA interest group
- LIGA at Sandia, Livermore
- LIGAビームライン｜施設概要｜ニュースバル放射光施設（日本語）
リーガ
リーガ、リガ
Liga
スペイン語圏・ポルトガル語圏・ドイツ語圏・ルーマニア語圏等における「リーグ」（連合・連盟・同盟・機構）
- ラ・リーガ - スペインのプロサッカーリーグ
- リーガ・デ・フトボル・プロフェシオナル - リーグを運営する機構
- ラ・リーガ・サンタンデール - スペイン1部リーグ。通常「ラ・リーガ」というとこのリーグを指す。
- ラ・リーガ・スマートバンク - スペイン2部リーグ。
- リーガACB - スペインのプロバスケットボールリーグ（男子）
- リーガ・フェミニーナ・バロンセスト - スペインのバスケットボールリーグ（女子）
- リーガ1 - ルーマニアのサッカーリーグ
- リーガMX - メキシコのプロサッカーリーグ
- リーガ1 (インドネシア) - インドネシアのサッカーリーグ
- 3. リーガ - ドイツのサッカーリーグ（プロサッカー3部）
- スイス・1.リーガ - スイスのサッカーリーグ（4部相当）
スペイン語で「スポーツ連合」を意味する「リーガ・デポルディーバ」（西: Liga Deportiva）。
- リーガ・デポルティーバ・ウニベルシタリア - エクアドルのサッカークラブ
- リーガ・デポルティーバ・アラフエレンセ - コスタリカのサッカークラブ
- その他
Riga
- リガ - ラトビアの首都。
- リガFC - リガをホームタウンとするサッカークラブ。
- リガ (モペッド) - 1965年から1992年の間にリガで製造されたモペッド。
- リガ (ニューヨーク州) - アメリカ合衆国ニューヨーク州モンロー郡の都市
- リガ型フリゲート
Liga
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スペイン語圏・ドイツ語圏・ルーマニア語圏等における「リーグ」（連合・連盟・同盟・機構）ラ・リーガ - スペインのプロサッカーリーグリーガ・デ・フトボル・プロフェシオナル - リーグを運営する機構 ラ・リーガ・サンタンデール - スペイン1部リーグ。通常「ラ・リーガ」というとこのリーグを指す。 ラ・リーガ・スマートバンク - スペイン2部リーグ。 リーガACB - スペインのプロバスケットボールリーグ（男子） リーガ・フェミニーナ・バロンセスト - スペインのバスケットボールリーグ（女子） リーガ1 - ルーマニアのサッカーリーグ リーガMX - メキシコのプロサッカーリーグ リーガ1 (インドネシア) - インドネシアのサッカーリーグ 3. リーガ - ドイツのサッカーリーグ（プロサッカー3部） スイス・1.リーガ（英語版） - スイスのサッカーリーグ（4部相当） スペイン語で「スポーツ連合」を意味する「リーガ・デポルディーバ」（西: Liga Deportiva）。リーガ・デポルティーバ・ウニベルシタリア - エクアドルのサッカークラブ リーガ・デポルティーバ・アラフエレンセ - コスタリカのサッカークラブ バルト三国、特にラトビアに由来する女性人名。 LIGA - X線等を用いた微細加工技術
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