清浄さ
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清浄さ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/12/08 01:48 UTC 版)
真空中で使用するためには、部品の加工段階や組立て段階などで付着する有機物（主に油成分）や埃、大気中に含まれる水分などを十分除去しなければならない。そのために各種洗浄を施し、保管にも十分注意する必要がある。特に近年真空部品は半導体製造装置への利用が一般化しており、流用できることが求められる。そのため、放出ガスだけでなく、半導体プロセスで問題とされる特定の元素や、微小なパーティクルについても管理が求められている。
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