極紫外線とは? わかりやすく解説

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きょく‐しがいせん〔‐シグワイセン〕【極紫外線】

読み方:きょくしがいせん

波長1〜10ナノメートル程度紫外線波長が短い領域X線分類されることもある。短い波長活かし半導体の超微細加工実現する露光技術研究進められている。極端紫外線extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線遠紫外線




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