収束電子回折とは？わかりやすく解説

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透過電子顕微鏡基本用語集

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収束電子回折（シービーイーディー）

略語：CBED
【英】：convergent-beam electron diffraction

入射電子線を円錐状に絞って直径10nm以下の微小領域に照射し、ディスク状の回折図形を得て、結晶構造の定性/定量解析をする手法。ディスク内には回折条件の変化に対する強度分布（ロッキングカーブ）が得られる。試料の厚さ、格子定数、結晶の対称性(点群、空間群)、格子欠陥の同定ができるだけでなく、構造精密化(原子座標、温度因子、低次の構造因子の決定(ポテンシャル分布))ができる。大角度収束電子回折法(LACBED)を用いると、格子欠陥の同定が容易におこなえ、多層膜の界面領域での歪み(および転位)を高精度で決定できる。エネルギーフィルタを使うと、一層高精度の解析ができる。

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収束電子回折（シービーイーディー）

略語：CBED
【英】：convergent-beam electron diffraction

入射電子線を円錐状に絞って直径10nm以下の微小領域に照射し、ディスク状の回折図形を得て、結晶構造の定性/定量解析をする手法。ディスク内には回折条件の変化に対する強度分布（ロッキングカーブ）が得られる。試料の厚さ、格子定数、結晶の対称性(点群、空間群)、格子欠陥の同定ができるだけでなく、構造精密化(原子座標、温度因子、低次の構造因子の決定(ポテンシャル分布))ができる。大角度法(LACBED)を用いると、格子欠陥の同定が容易におこなえ、多層膜の界面領域での歪み(および転位)を高精度で決定できる。エネルギーフィルタを使うと、一層高精度の解析ができる。

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収束電子回折

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/05/25 14:21 UTC 版)

収束電子回折（しゅうそくでんしかいせつ、英: Convergent Beam Electron Diffraction, CBED）とは電子回折における手法の1つで、円錐状に収束させた電子線を試料に照射させ、通常、6992100000000000000♠10 nm 以下の試料領域から回折パターンを得る方法である。

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