全圧真空計とは？わかりやすく解説

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全圧真空計

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/06/13 09:49 UTC 版)

「真空計」の記事における「全圧真空計」の解説

全圧真空計は環境（チャンバ内）の圧力のみを測定する真空計である。真空計とは通常これを指す。全圧真空計は測定方式により主に3つに分けられる：機械的な現象気体の輸送現象気体の電離現象

※この「全圧真空計」の解説は、「真空計」の解説の一部です。
「全圧真空計」を含む「真空計」の記事については、「真空計」の概要を参照ください。

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