スピンコート
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2024/07/23 09:48 UTC 版)
スピンコート(Spin coating)とは平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する工程である。装置の名称はスピンコーター、或いは単純にスピナーとも呼ばれる。
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スピンコート(Spin coating)とは平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する工程である。装置の名称はスピンコーター、或いは単純にスピナーとも呼ばれる。
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