Литография

Литография (гр. lithos — тас және гр. grapho — сурет саламын) — электроникада, интегралдық схемаларды және басқа электрондық аспаптарды жасау процесінде металл, диэлектрик немесе шалаөткізгіш қабатында берілген бедерді (суретті) қалыптастыру әдісі. Литография (процесі сәулеленуге (оптикалық, УҚ, рентген және т.б.) немесе зарядталған бөлшектер ағынына (электрондардың, иондардың) сезімталдығы жөне ойып-өндеушіге берік резистерді пайдаланумен іске асырылады. Резисторге әсер ететін сәулелену түріне байланысты фоторезисті, электронорезисті, рентгенорезисті және ионорезисті пайдалану аркылы жүзеге асырылатын оптикалық литографияны, электронолитографияны, рентгенолитографияны, ионолитографияны және лазерлік литографияны бөліп қарастырады.