airproofとは 意味・読み方・使い方

of an airplane, the condition of being airproof発音を聞く 例文帳に追加

気体を通さないこと - EDR日英対訳辞書

Consequently, it is possible to airproof a power module, to prevent permeation of moisture and contaminant, and to prevent displacement deformation and cracks of a lid plate 105.例文帳に追加

これにより、パワーモジュールを気密化し、水分や汚染物質の浸入を防ぎ、蓋板１０５の変位変形や割れを防止する。 - 特許庁

A stage apparatus 14 is provided with a counterforce treating mechanism that connects a fixing part 62 of a driving 54 composed of linear motor, etc., arranged in a wafer chamber 38 to an outer frame 46, while keeping the wafer chamber 38 in airproof state.例文帳に追加

ステージ装置１４は、ウエハ室３８の気密状態を維持したまま、ウエハ室内に配置されたリニアモータ等から成る駆動装置５４の固定子６２を外部のフレーム４６に連結する反力処理機構を備えている。 - 特許庁

The exposure apparatus includes a pole member provided upright on a foundation and a vacuum chamber containing airproof the apparatus body, and is characterized in that for allowing the displacement of a vacuum chamber upper wall from the pole member, the pole member and the vacuum chamber upper wall are resiliently connected through an elastic member.例文帳に追加

基礎上に立設される柱部材と、装置本体を気密に内包する真空チャンバとを備え、前記柱部材に対する真空チャンバ上壁の変位が許容されるように、前記柱部材と前記真空チャンバ上壁とが弾性部材を介して弾性的に接続されることを特徴とする。 - 特許庁