MEMSの疲労試験方法，日本提案がIEC規格に

MEMSの疲労試験方法，日本提案がIEC規格に

MEMSでバネなどに使われる薄膜材料について，機械的な特性を計測し評価する疲労試験方法が，電気技術分...概要を表示 MEMSでバネなどに使われる薄膜材料について，機械的な特性を計測し評価する疲労試験方法が，電気技術分野の国際標準化機関IEC（International Electrotechnical Commission）の国際標準規格として成立した。この方法は新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が中心に開発したもので，薄膜材料の疲労特性について，正確な評価が可能になるとする。業界全体で「開発や検査，材料のコストなど，ざっくり200億円分を直接削減できる」（NEDO技術開発機構 機械システム技術開発部 部長の岡野克弥氏）と見込む。