HM-A300全自动检测设备

一、产品特点

1、高速度、高精度测量系统

2、300mm*300mm范围自动测量

3、重复测量精度≦0.5µm

4、适用高反光、高透光材料

5、数据重复测量的一致性

6、测量膜厚、线宽、平面度等

二、产品参数

外观尺寸：930*1200*1450mm

XY运动行程：360*360mm

Z轴可调行程：50mm

有效测量范围：300*300mm

有效步距（min）:2μm/s

扫描速度可达：30mm/s

检测重复精度：≦0.5µm

电源：AC220V±10%

三、应用行业