�Y�ƋZ�p�����������i�Y�����j�́A�}�C�N���g�v���Y�}CVD�@��p���A�N���b�N���Ȃ��̐�1cm����3�������̒P�����_�C�������h�쐻�ɐ��������B�C���`�T�C�Y�̃E�G�n�[�����ɑ傫���߂Â����B
�@�Y�ƋZ�p�����������i�Y�����j��2019�N3���A�}�C�N���g�v���Y�}CVD�@��p���A�N���b�N���Ȃ��̐�1cm3���̒P�����_�C�������h�̍쐻�ɐ��������Ɣ��\�����B���̐������@�̓K�X�������Ƃ��Ă���A�C���`���T�C�Y�̒P���������̃E�G�n�[�쐻���\�Ƃ݂Ă���B
�@������p���[�����̂̐��\�����ȓd�͂��\�ɂ���V�ޗ��Ƃ��āASiC�i�Y���P�C�f�j��GaN�i�����K���E���j�AGa2O3�i�_���K���E���j�A�_�C�������h�Ȃǂ����ڂ���Ă���B
�@���ɁA�_�C�������h�͑ψ���M�`�����ȂǂɗD��Ă��邽�߁A���p�������҂���Ă���ޗ���1�ł���B�������A����܂Ő����ɗp���Ă������������@���ƁA�R�X�g��Z�p�̓_�ő�ʐσE�G�n�[�̍쐻�͋ɂ߂č���Ƃ����Ă����B�����ɂ��邽�ߌ����������J��Ԃ��s���K�v������A���ꂪ�Ђ��݂⌋�����̗ɂȂ���A�N���b�N�������N�����v���ƂȂ��Ă����B
�@�Y�����͍���A�K�X�������Ƃ���}�C�N���g�v���Y�}CVD�@��p���āA�_�C�������h�����Ɏ��g�B�u�}�C�N���g�̃p���X���⌋���ێ��\���̍œK���ɂ�鎎�����ӂ̔M���t���̌���v�u�����ʒu�̐�������ɂ�钷���Ԑ������̃v���Y�}�^�����\�ʊԋ����̈ێ��v�����āA�u�����K�X�ւ̔��ʎ_�f�Y���ɂ�錋���z���_�[�⎎�����ӂɂ�����ُ퐬���̗}���v�Ȃǂ��s�����B����ɂ��A��x�̍����Ō���2�`5mm�܂ŁA�N���b�N���������Ɍ�����A���I�ɐ��������邱�Ƃ��\�ƂȂ����B
�@�J�������쐻���@��p����ƁA���������̂��߂̍�Ɖ����炵�A�������ɂ��Ђ��݂⌋������}���邱�Ƃ��ł��邽�߁A�i���̍����_�C�������h�������~���P�ʂō쐻���邱�Ƃ��\�ƂȂ�B���삵���_�C�������h�����̕i�����������}���X�y�N�g���̔��l���i�s�[�N���x�̔����̋��x�ƂȂ�g�����j�Ɛ��������̈ˑ����ɂ��Ă����ׂ��Ƃ���A�]���i�ɔ�ׂĊJ���i�͍����i���ł��邱�Ƃ����������B
�@�Y�����͍���A�C���`���̑�ʐϒP���������̃E�G�n�[�쐻�Ɏ��g�ށB�܂��A��ʐς̃_�C�������h�E�G�n�[��p�����p���[�f�o�C�X�����J�����p�����čs���\�肾�B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.