主要技术参数
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆结构型式:卧式热壁型、立式或其他形式,可根据客户需求定制
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
噪音:≤62dB(A)
震动:≤3μm
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标:扩散炉、高温扩散炉、程控扩散炉、微控扩散炉、太阳能扩散炉、立式扩散炉、扩散炉、双管扩散炉、三管扩散炉、扩散炉控制系统、氧化扩散炉、焊接炉、真空炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业、实验电炉等高温热处理设备。为您的产品工艺量身定做,厂家直接供货,欢迎广大新老客户来电来函。
碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉-SIC 青岛晨立电子
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详细信息
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