���Ă��΍�EUV�P�A ���W�E�܂ƂߋL���ꗗ

�A�b�g�R�X�� > ���Ă��΍�EUV�P�A > �R���e���c

���Ă��΍�EUV�P�A�Ɋւ���L���ꗗ

227���� 1-10����\��

227���� 1-10����\��

���ڃg�s�b�N�X

ڂ̏tVRXWI

CɂȂRXLike悤I

2000lɃxXRXTvv[g

RXN`R~eLy[

‚ɔ\IxXRX2024`FbN

2025㔼XLPARXgh\

݂Ȃ̐RX́HN`R~܂Ƃ

�ŐV�v���[���g

�r�I�f���}�T���V�r�I �G�C�`�c�[�I�[ �A�C
�܂‚��Ɣ��ɂ₳�����|�C���g���C�N�����[�o�[
�N��
�`
����
����
�w���ꏊ
�N�`�R�~���e����

���i��������

���Ă��΍�EUV�P�A�̏��i�ꗗ���݂�

���i
�`
������
����
�N�`�R�~����

�N�`�R�~��������

���Ă��΍�EUV�P�A�̃N�`�R�~�ꗗ���݂�

�N��
�`
�������ߓx
����
�w���ꏊ

�J�e�S���ꗗ��

�^�O�ꗗ��