alignersとは 意味・読み方・使い方

To reduce the load on a user of a device by creating a job efficiently when performing a similar treatment among different kinds of projection aligners.例文帳に追加

機種の異なる露光装置間で、同様の処理を行う際に、効率よくジョブを作成し装置利用者の負担を軽減する。 - 特許庁

A specific machine (machine A) that is a specific aligner is arbitrarily selected from among a plurality of aligners for exposing a substrate to light via a mask pattern.例文帳に追加

マスクのパターンを介して基板を露光する複数の露光装置のうちから特定の露光装置である特定号機（号機Ａ）を任意に選定する。 - 特許庁

The conventional optical aligners OST1 to OSTm (n and m: integer of more than two) are also provided adjacent thereto.例文帳に追加

それに並んで従来の光露光装置ＯＳＴ１〜ＯＳＴｍ（ｎ，ｍはそれぞれ２以上の整数）も併設されている。 - 特許庁

It also is provided with a setting section containing a plurality of the aligners to set any operating parameter for plural memories in the lump.例文帳に追加

また、該露光装置を複数有し、複数の記憶に対して動作パラメータを一括して設定する設定部を有する。 - 特許庁

To improve overlay accuracy during mix-and-match processing among a plurality of aligners with different references of section area arrangement.例文帳に追加

区画領域の配列の基準が異なる複数の露光装置相互間でミックス・アンド・マッチを行なうに際して重ね合わせ精度の向上を図る。 - 特許庁

The error of the reticle surface shape measuring positions between aligners is calculated to correct the measuring position of the reticle surface shape measuring apparatus RO based on the calculated error.例文帳に追加

そして、算出した誤差に基づいて、レチクル面形状測定装置ＲＯの測定位置を補正する。 - 特許庁

To achieve resolution exceeding the resolution limit of existing aligners by means of an aligner, manufactured through the existing aligner manufacturing technique.例文帳に追加

既存の露光装置の解像限界を越えた解像力を既存の露光装置製造技術で製造した露光装置により達成する。 - 特許庁

The position and direction of the charged particle beam which illuminates the aperture diaphragm 14 is adjusted by aligners 19A and 19B.例文帳に追加

アライナー１９Ａ、１９Ｂにより、開口絞り１４を照明する荷電粒子線の位置と方向が調整される。 - 特許庁