実温度計測の英語

ウエハの実際の温度を計測して熱処理温度を適正に制御する熱処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a heat treatment apparatus for adequately regulating a heat treatment temperature by measuring the real temperature of wafer. - 特許庁

温度特性計測装置において、高精度の温度制御を実現する技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technique for achieving highly accurate temperature control in a temperature characteristics measuring apparatus. - 特許庁

温度センサ２６は、ウエハＷの実際の温度を計測して、温度測定値を得、温度測定値を制御装置２５に送る。例文帳に追加

The temperature sensor 26 measures actual temperature of the wafer W to obtain the measured temperature and then sends this temperature value to a controller 25. - 特許庁

温度計測値ＰＶ入力部３は、予測実行信号が入力されると、温度計測値ＰＶを取得する。例文帳に追加

A temperature measured value PV input part 3 acquires, upon input of the prediction execution signal, a temperature measured value PV. - 特許庁

被測定体内の渦電流を利用して被測定体の温度を非接触で測定する温度計測手法において、被測定体から誘導素子（コイル）までの距離が変化した場合であっても正確な温度測定を実現する温度計測の技術を提供する。例文帳に追加

To measure correct temperature, even if the range from measured objects to a guidance element (coil) is varied. - 特許庁

現実に温度を把握したい基板の温度を直接かつ非接触で、しかも高精度で測定することができる温度計測装置および温度計測方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a temperature measuring device and a temperature measuring method capable of measuring, directly in a noncontact way with high accuracy, the temperature of a substrate whose temperature is actually required to be grasped. - 特許庁

質量流量コントローラ２の乾燥ガス質量流量Ｑｐｖの計測を含めた乾燥ガス質量流量計測制御、加湿ガス圧力計測御御、加湿ガス温度計測制御のフィードバック制御を実行する。例文帳に追加

Feedback control of dry gas mass flow rate measurement control including measurement of the dry gas mass flow rate Qpv of a mass flow rate controller 2, humidified gas pressure measurement control, and humidified gas measurement control, is executed. - 特許庁

流量測定と共に温度計測が可能な計測回路を実現し、低温時の電池電圧低下の補正に供与する。例文帳に追加

To realize a measuring circuit capable of measuring a flow rate and measuring a temperature to thereby correct a battery voltage drop at a low- temperature time. - 特許庁