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前期解離の英語
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英訳・英語 predissociation
「前期解離」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
原料ガスであるＴｉＣｌ４と反応ガスであるＮＨ_３とを反応させてＴｉＮ薄膜を基板上に形成する薄膜の形成方法において、前記ＮＨ_３に対して前期解離を起こす波長の光を照射し、ＮＨ_３を励起した上で原料ガスと反応させる。例文帳に追加
In the thin film deposition method where TiCl4 as a gaseous starting material and NH_3 as a reaction gas are reacted to deposit a TiN thin film on a substrate, the NH_3 is irradiated with light with wavelength causing predissociation so as to be excited, and is then reacted with the gaseous starting material. - 特許庁
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