ハースライナーの英語

電子銃１２を用いて蒸発材料１７を加熱する真空蒸着装置１１の間接加熱型ハースライナー１３である。例文帳に追加

In the indirect heating type hearth liner 13 of a vacuum deposition system 11, an evaporating material 17 is heated by using an electron gun 12. - 特許庁

成膜装置の稼働率と被処理物の処理効率を向上させることができるハースライナーカバー交換機構を提供する。例文帳に追加

To provide a hearth liner cover replacing mechanism capable of improving the rate of operation of a deposition device and the efficiency of processing an object to be treated. - 特許庁

電子銃から電子ビームを蒸着材料に照射して基板に光学薄膜を形成する真空蒸着装置のハースライナー１において、該ハースライナー１の蒸着材料収納部２の断面形状が、浅い半円形（球）状（おわん状）であることを特徴とする。例文帳に追加

The hearth liner 1 of a vacuum deposition apparatus is used for forming an optical thin film on a substrate by irradiating an evaporant with an electron beam sent from an electron gun, wherein the cross-section of the evaporant holder 2 of the hearth liner 1 has the shape of a shallow semicircle (hemisphere) (bowl). - 特許庁

基板に蒸着材料を付着して光学薄膜を形成するハースライナーにおいて、電子銃からの電子ビームを蒸着材料に照射して溶融・気化する際に生じる突沸（スプラッシュ）を防止する。例文帳に追加

To prevent splashing occurring when an evaporant is molten and evaporated by irradiation with an electron beam sent from an electron gun in a hearth liner for forming an optical thin film by depositing the evaporant on a substrate. - 特許庁

この際、ハースライナー６３ａの表面から安定した蒸気ビームが出射するので、基板ＷＡ上に金属を簡易に埋め込むことができ、かかる配線膜の成膜が容易になる。例文帳に追加

At this time, since the stable vapor beam is emitted from the surface of the hearth liner 63a, the metal can easily be buried in the surface of the substrate WA, so that the deposition of the wiring film is made easy. - 特許庁

ＭｇＦ_2 を溶融し、結晶化させることで得られたＭｇＦ_2 の単結晶体を蒸着材料１０として電子銃２のハースライナー２ａにセットし、電子銃法によってレンズＲの表面にフッ化マグネシウム薄膜を成膜する。例文帳に追加

A single crystal MgF2, prepared by melting MgF2 and crystallizing it, is used as an evaporation material 10 and set on a hearth liner 2a of an electron gun 2, and a magnesium fluoride thin film is formed on the surface of a lens R by an electron gun method. - 特許庁

ハース５１上部のハースライナー５３ａ及び焼結体５３ｂは、プラズマビームＰＢにより加熱され、焼結体５３ｂに含有された蒸発金属が溶融して表面に浸み出し、焼結体５３ｂから金属の蒸気が安定して出射する。例文帳に追加

A hearth liner 53a on the upper part of the hearth 51 and a sintered body 53b are heated by the plasma beam PB, the evaporated metal contained in the sintered body 53b is melted to ooze out to the surface, and the vapor of the metal is stably emitted from the sintered body 53b. - 特許庁

成膜工程とスパッタリング工程とを周期的に繰り返すための手段として、第１に真空容器１０に対する基板ＷＡの電圧と、第２にプラズマガン３０とハースライナー５３との間に供給する電流と、第３に真空容器１０中の雰囲気圧とをそれぞれ周期的に変化させる。例文帳に追加

As a means for periodically repeating the film deposition process and the sputtering process, firstly, the voltage applied to the substrate WA with respect to a vacuum container 10, secondly, the current supplied between a plasma gun 30 and the hearth liner 53, and thirdly, the atmospheric pressure in a vacuum container 10 are periodically changed. - 特許庁