1 95525767 2 119154337 3 187156663 4 241624153 5 307396447 6 315255697 7 350645233 8 359030233 9 397620007 10 398947033 11 414684817 12 443874817 13 512952007 14 536331097 15 556355647 16 559634377 17 588250447 18 635613463 19 657965743 20 747854017 21 753117457 22 753369457 23 800256913 24 830392417 25 857481577 26 867181687 27 872592967 28 909049807 29 909086473 30 918699937 31 949545073 32 1004596993 33 1033739617 34 1037881993 35 1048294927 36 1102893793 37 1122601393 38 1136376697 39 1172532943 40 1175665303 41 1179303217 42 1233802417 43 1280067223 44 1324449127 45 1380381913 46 1402846537 47 1472852473 48 1510015753 49 1521341977 50 1544804017 51 1596098617 52 1615683007 53 1621227217 54 1671301633 55 1729888273 56 1733137033 57 1751486983 58 1753450273 59 1793075593 60 1807963873 61 1816397857 62 1837622593 63 1855261927 64 1865914807 65 1876060033 66 1880551297 67 1897992097 68 1939755217 69 2002236097